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摘要：本发明涉及镀膜设备领域，公开了一种连续式多层输送方式的PVD镀膜系统及其镀膜工艺，该系统包括依次通过门阀连接的上料机、真空入料腔、加热腔、镀膜工艺腔模块、真空出料腔和下料机。真空入料腔、加热腔、真空出料腔内设置有多层载板输送机构。镀膜工艺腔模块内设置有单层载板输送机构或者多层载板输送机构。当镀膜工艺腔模块为单层输送时，镀膜工艺腔模块的前端和后端分别设置有工艺入料缓存腔和工艺出料缓存腔。工艺入料缓存腔和工艺出料缓存腔上均设置有用于多层载板输送与单层载板输送相互转换的多层载板升降机构。该镀膜工艺采用上述的镀膜系统。本发明采用多层载板同时输送方式，增加了腔体单次运输载板的数量，提高设备产能，降低成本。
主权项：1.一种连续式多层输送方式的PVD镀膜系统，其特征在于：包括依次通过门阀连接的上料机（1）、真空入料腔（2）、加热腔（3）、镀膜工艺腔模块（5）、真空出料腔（7）和下料机（8）；真空入料腔（2）和真空出料腔（7）设置有一个或多个；所述真空入料腔（2）、加热腔（3）、真空出料腔（7）内设置有多层载板输送机构（20）；镀膜工艺腔模块（5）内设置有单层载板输送机构（20）或者多层载板输送机构（20）；当镀膜工艺腔模块（5）内设置的为单层载板输送机构（20）时，所述镀膜工艺腔模块（5）的前端和后端分别设置有工艺入料缓存腔（4）和工艺出料缓存腔（6）；所述工艺入料缓存腔（4）和工艺出料缓存腔（6）上均设置有用于多层载板输送与单层载板输送相互转换的多层载板升降机构（10）。
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百度查询： 福建金石能源有限公司 一种连续式多层输送方式的PVD镀膜系统及其镀膜工艺
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