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申请/专利权人：住友电气工业株式会社
申请日：2015-08-31
公开（公告）日：2021-03-19
公开（公告）号：CN112531019A
专利技术分类：...除掺杂材料或其他杂质外，只包括以游离态存在的周期系中Ⅳ族元素的[2006.01]
专利摘要：本发明涉及碳化硅衬底。所述碳化硅衬底具有主表面，所述主表面具有小于或等于0.1nm的表面粗糙度Ra，以及所述主表面包含钒、钨、钼、铂、镍、钛、锆和铬，在所述主表面中，钒、钨、钼、铂、镍、钛、锆和铬各自具有小于或等于1.0×1012原子cm2的浓度，其中，在所述主表面中的钒、钨、钼、铂和锆中的每一个具有大于或等于1.0×106原子cm2的浓度。
专利权项：1.一种碳化硅衬底，所述碳化硅衬底具有主表面，所述主表面具有小于或等于0.1nm的表面粗糙度Ra，以及所述主表面包含钒、钨、钼、铂、镍、钛、锆和铬，在所述主表面中，钒、钨、钼、铂、镍、钛、锆和铬各自具有小于或等于1.0×1012原子cm2的浓度，其中，在所述主表面中的钒、钨、钼、铂和锆中的每一个具有大于或等于1.0×106原子cm2的浓度。
百度查询： 住友电气工业株式会社 碳化硅衬底
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