龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司
摘要：本发明公开了一种针对特定图形旁波效应的OPC方法，包括：步骤S1，设定OPC模型的曝光阈值，输入目标图形，利用OPC模型模拟所述目标图形曝光后的光强分布，选择光强满足设定光强条件的长方形图形作为选定图形并输出；步骤S2，以所述选定图形中两条长边之间的距离满足设定距离条件的两条长边作为图形边；步骤S3，以所述图形边为目标图形边，在所述选定图形中生成散射条，所述散射条与所述图形边平行；步骤S4，以所述目标图形为目标、所述散射条为辅助图形，进行基于模型的OPC修正，得到最终的OPC图形。本发明还公开通孔层OPC处理方法。本发明通过添加辅助图形散射条改变光强分布，从而确保最终的曝光结果既能达到目标尺寸，又能避免产生额外曝光图形。
主权项：1.一种针对特定图形旁波效应的OPC方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1，设定OPC模型的曝光阈值Ith，输入目标图形，利用OPC模型模拟所述目标图形曝光后的光强分布，选择光强满足设定光强条件的长方形图形作为选定图形并输出；步骤S2，以所述选定图形中两条长边之间的距离满足设定距离条件的两条长边作为图形边；步骤S3，以所述图形边为目标图形边，在所述选定图形中生成散射条，所述散射条与所述图形边平行；步骤S4，以所述目标图形为目标、所述散射条为辅助图形，进行基于模型的OPC修正，得到最终的OPC图形。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 针对特定图形旁波效应的OPC方法及通孔层OPC处理方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号