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申请/专利权人：无锡华润上华科技有限公司
摘要：本发明提供一种带SRAF的OPC修正方法，该方法包括：设计试验，获得添加SRAF图形的最优规则；使用原有的OPC模型；对目标图形添加SRAF图形，形成预设图形；使用原有的OPC模型对预设图形进行运算修正，在运算修正过程中SRAF图形作为目标图形的一部分一起参与OPC运算，并保持SRAF图形不动。通过在对带SRAF的目标图形进行修正过程中，将SRAF图形与目标图形作为一个整体一起参与OPC运算，并将SRAF图形保持不动，即SRAF图形不参与OPC模型对目标图形边缘修正的动作，只考虑SRAF图形对目标图形光学环境的影响，确保了OPC修正的精确性；同时在修正过程中不需要额外制作带SRAF的建模光刻版，节省了光刻版的制版费用；另外利用现有的OPC模型，有效节省了大量OPC建模所需时间，提高修正效率。
主权项：1.一种带SRAF的OPC修正方法，其特征在于，所述修正方法包括：设计试验，获得添加SRAF图形的最优规则；使用原有的OPC模型；对目标图形添加所述SRAF图形，形成预设图形；使用所述原有的OPC模型对所述预设图形进行运算修正，其中，在运算修正过程中所述SRAF图形作为所述目标图形的一部分一起参与OPC运算，并保持所述SRAF图形不动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡华润上华科技有限公司 带SRAF的OPC修正方法
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