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申请/专利权人：宁波润华全芯微电子设备有限公司
摘要：本发明提供了一种基于SWAP策略的晶圆搬运调度方法、系统、装置和介质，基于SWAP策略的晶圆搬运调度方法包括：获取晶圆的多个可行路径；根据可行路径获取晶圆的移动次数，并计算在各个可行路径下的合计工作时长；根据多个合计工作时长和移动次数计算晶圆移动一次的最优时长；根据多个最优时长获取晶圆的最优路径。本发明解决在双臂机器人工作的过程中，存在搬运调度流程不合理、调度复杂，导致晶圆整体加工时间过长、生产效率低的技术问题。
主权项：1.一种基于SWAP策略的晶圆搬运调度方法，其特征在于，所述晶圆搬运调度方法包括：获取晶圆的多个可行路径；根据所述可行路径获取所述晶圆的移动次数，并计算在各个所述可行路径下的合计工作时长；根据多个所述合计工作时长和所述移动次数计算所述晶圆移动一次的最优时长；根据多个所述最优时长获取所述晶圆的最优路径。
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权利要求：
百度查询： 宁波润华全芯微电子设备有限公司 一种基于SWAP策略的晶圆搬运调度方法、系统、装置和介质
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