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申请/专利权人：江苏凯威特斯半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于清洗晶圆吸盘的溢流治具，包括：顶盖和桶体；顶盖相适应的盖在桶体上，顶盖上设置有进水管；桶体上由上至下依次设置有水样测试口和出水口，出水口上设置有离心泵；桶体内侧设置有产品固定板和刻度线，产品固定板位于水样检测口与顶盖之间，刻度线位于产品固定板与顶盖之间；产品固定板上设置有产品固定位，晶圆吸盘相适应的放置在产品固定位上，在晶圆吸盘与产品固定板之间设置有密封圈。该装置上部有一个进水口底部有一个出水口，水流从上而下经过晶圆吸盘渗透下去冲洗间隙，冲洗过的水直接从出水口流出；在整个清洗过程中无需使用大量的人工，不仅省时省力而且可有效避免在冲洗过程中发生二次污染。
主权项：1.一种用于清洗晶圆吸盘的溢流治具，其特征在于，包括：顶盖1和桶体2，所述顶盖1相适应的盖在所述桶体2上，所述顶盖1上设置有进水管4；所述桶体2上由上至下依次设置有水样测试口5和出水口6，所述出水口6上设置有离心泵7；所述桶体2内侧设置有产品固定板8和刻度线9，所述产品固定板8位于所述水样测试口5与所述顶盖1之间，所述刻度线9位于所述产品固定板8与所述顶盖1之间；所述产品固定板8上设置有产品固定位10，所述产品固定位10与晶圆吸盘3相适应设置，在所述晶圆吸盘3与所述产品固定板8之间设置有密封圈11。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏凯威特斯半导体科技有限公司 一种用于清洗晶圆吸盘的溢流治具
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