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申请/专利权人：准力机械股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆研磨机具，包括数个晶圆架、一驱动装置、一研磨装置、一前置台、一后置台、一移载装置及一控制单元，其中各晶圆架分别间隔贯穿数个用于定位晶圆片的定位孔，各晶圆架分别形成用于区别辨识各晶圆架的识别标记，用于辨识各定位孔的配置中心的第一定位标记，用于辨识各定位孔的孔位标记，本实用新型可绑定晶圆片对应的识别标记及孔位标记，成为有利于追踪晶圆片的加工历程的研磨纪录。
主权项：1.一种晶圆研磨机具，其特征在于包括数个晶圆架、一驱动装置、一研磨装置、一前置台、一后置台、一移载装置及一控制单元，其中各晶圆架间隔配置在驱动装置，各晶圆架分别间隔贯穿数个定位孔，各定位孔分别用于设置定位一晶圆片，研磨装置用于研磨各晶圆片；各晶圆架分别形成一识别标记，各识别标记用于区别辨识各晶圆架，各晶圆架分别形成一第一定位标记，第一定位标记用于辨识各定位孔的配置中心，各晶圆架分别形成数个孔位标记，各孔位标记分别邻近各定位孔，各孔位标记分别用于区别辨识各定位孔；前置台形成至少一个用于设置待研磨的晶圆片的第一配置构造；后置台形成至少一个用于设置研磨完成的晶圆片的第二配置构造；移载装置包括一取放单元及一机械臂，其中取放单元设置在机械臂的工作端，取放单元包括一接座、一升降器、一吸盘模块及一影像撷取器，其中接座连接机械臂，升降器连接接座，吸盘模块连接升降器，升降器掣动吸盘模块上下升降接近或远离一个选定的晶圆片，吸盘模块包括用于吸引及释放晶圆片的至少一真空吸盘，影像撷取器连接接座，用于撷取影像；控制单元主要由电子电路构成，其包括一可程控器、一储存媒体及一微处理器，其中可程控器及储存媒体分别电性连接微处理器，可程控器电性连接取放单元及机械臂，储存媒体是可读取及写入的记忆媒体，用于储存各晶圆片的研磨记录，微处理器电性连接影像撷取器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 准力机械股份有限公司 一种晶圆研磨机具
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