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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：提供静电卡盘ESC装置和方法。ESC可具有一或更多个卡盘电极以及围绕卡盘电极的阻断电极。阻断电极可减少使用ESC执行的半导体处理操作中的不均匀性。在某些实现方案中，阻断电极位于卡盘电极下方。
主权项：1.一种包含用于支撑半导体衬底的静电卡盘ESC的装置，所述ESC包含：上表面，其用于支撑晶片；一或更多个夹持电极，其在所述上表面的下方，其中所述一或更多个夹持电极被配置成当通电时静电夹持所述晶片至所述上表面；阻断电极，其中所述阻断电极包含：环形部，中央部，以及三或更多个辐条，其中每一辐条具有耦合至所述环形部分的远端以及耦合至中央部分的近端，其中当沿着垂直于所述上表面的轴观看时，所述环形部围绕所述一或更多个夹持电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于减少膜不对称性的ESC中的射频网格设计的方法和装置
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