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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：此处公开了直接拾取式晶片搬运机器人系统，其可用于从例如四站式模块QSM之类的多站式模块的站直接拾取四个晶片或在这样的站中直接放置四片晶片。该晶片搬运机器人系统包含两组机器人臂对，每个机器人臂对能够彼此独立地使用，使得机器人臂对可用于从QSM拾取晶片，而一旦将该QSM中的晶片移除则另一机器人臂对支撑一组的四个晶片以放置到相同的QSM。该晶片搬运机器人系统可允许各个晶片直接放置到QSM的各站内且可适用以允许单独调整每个这样的晶片置放以允许每个晶片在各自的目标基座上置中。
主权项：1.一种系统，其包含：基部；躯干单元，其与所述基部能旋转地连接，使得所述躯干单元相对于所述基部能围绕主旋转轴线旋转；一对第一机器人臂，其由所述躯干单元支撑；以及一对第二机器人臂，其由所述躯干单元支撑，其中：所述第一机器人臂各自被配置成至少在第一缩回状态、第一近伸展状态、和第一远伸展状态之间转变，每个第一机器人臂在该第一机器人臂处于所述第一远伸展状态时距离所述主旋转轴线最远的第一远程位置在该第一机器人臂处于所述第一缩回状态时与在该第一机器人臂处于所述第一近伸展状态时相比较靠近所述主旋转轴线，每个第一机器人臂的所述第一远程位置当该第一机器人臂处于所述第一近伸展状态时与当该第一机器人臂处于所述第一远伸展状态时相比较靠近所述主旋转轴线，所述第二机器人臂各自被配置成至少在第二缩回状态、第二近伸展状态、和第二远伸展状态之间转变，每个第二机器人臂在该第二机器人臂处于所述第二远伸展状态时距离所述主旋转轴线最远的第二远程位置在该第二机器人臂处于所述第二缩回状态时与在该第二机器人臂处于所述第二近伸展状态时相比较靠近所述主旋转轴线，且每个第二机器人臂的所述第二远程位置在该第二机器人臂处于所述第二近伸展状态时与在该第二机器人臂处于所述第二远伸展状态时相比较靠近所述主旋转轴线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于多站式半导体处理室的直接拾取式机器人
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