龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：周星工程股份有限公司
摘要：本发明涉及一种衬底处理装置，包括第一电极和第二电极，第一电极和第二电极的位置可以考虑热膨胀系数的差异而提前调整，使得即使在处理期间第一电极和第二电极出现热膨胀的情况下也防止通过第一电极和第二电极之间的接触所产生的短路。即使在第一电极和第二电极由于处理期间温度的上升而出现热膨胀的情况下，本发明的衬底处理装置也可以防止第一电极和第二电极之间的短路，并且可以在用于处理大衬底的衬底处理装置中维持薄膜的均匀性。
主权项：1.一种衬底处理装置，包括：处理腔，被配置为提供处理衬底的反应空间；第一电极，被布置在所述处理腔内，以及所述第一电极包括面向所述衬底并且朝向所述衬底突出的多个突出电极；以及第二电极，被布置在所述处理腔内，以及所述第二电极设有所述突出电极所插入的多个插孔，其中，所述第二电极具有中心区域、围绕所述中心区域的外围区域以及围绕所述外围区域的边缘区域，其中，所述突出电极被插入所述插孔中，使得：在所述中心区域中所述突出电极的中心与所述插孔的中心对准，在所述外围区域中在远离所述中心区域的方向上所述突出电极的中心与所述插孔的中心间隔第一距离沿着第二电极延伸的方向，以及在所述边缘区域中在远离所述中心区域的方向上所述突出电极的中心与所述插孔的中心间隔第二距离沿着第二电极延伸的方向，以及其中，所述第一距离短于所述第二距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 周星工程股份有限公司 衬底处理装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号