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申请/专利权人：先导薄膜材料(江苏)有限公司
摘要：本发明涉及靶材技术领域，公开了一种厚平面靶材及其制备方法，所述制备方法为：将物料依次经过初次升温、二次升温、双向加压、研磨抛光处理后得到厚平面靶材；所述厚平面靶材的厚度大于30mm，所述物料为碲化锌或氧化镉。所述厚平面靶材的上部致密度与下部致密度之差≤0.5％。本发明制备得到的厚平面靶材，其厚度大于30mm的情况下，还能够保持靶材上部致密度与下部致密度基本接近，不会形成很大的致密度之差，使得靶材溅射效果优异。
主权项：1.一种厚平面靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法为：将物料依次经过初次升温、二次升温、双向加压、研磨抛光处理后得到厚平面靶材；所述厚平面靶材的厚度大于30mm，所述物料为碲化锌；所述双向加压的具体步骤为：二次升温完成后，对物料进行上、下两个方向的加压，在20-30min的时间内加压到40-50Mpa，然后保压40-60min；所述初次升温的具体步骤为：以10-15℃min的升温速度升温到0.4-0.5T，保温30-60min，所述T为物料的熔点；所述二次升温的具体步骤为：以5-8℃min的升温速度升温到0.6-0.9T，保温90-120min，所述T为物料的熔点。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(江苏)有限公司 一种厚平面靶材及其制备方法
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