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申请/专利权人：杭州长川科技股份有限公司
摘要：本申请涉及半导体检测技术领域，特别是涉及一种半导体元件的检测装置及其分选机。所述检测装置包括：承载架，用以承载所述载具盘；导向组件，设于所述承载架上且沿着第一方向布设，所述导向组件用以引导所述载具盘沿着所述第一方向运动运动；检测组件，位于所述载具盘转运的路径上，用以检测所述载具盘上料坑中有无半导体元件；侧顶组件，所述侧顶组件安装于所述导向组件或所述承载架，并能够沿着第二方向顶抵所述载具盘；其中，所述第一方向与所述第二方向呈角度设置。本申请还提供一种分选机。本申请能够保证载具盘运动至对应检测组件的位置处时，载具盘上的料坑处于检测组件所检测的范围，即提高了检测组件检测的成功率。
主权项：1.一种半导体元件的检测装置，用以检测载具盘101上料坑中有无所述半导体元件，其特征在于，所述检测装置包括：承载架10，用以承载所述载具盘101；导向组件20，设于所述承载架10上且沿着第一方向布设，所述导向组件20用以引导所述载具盘101沿着所述第一方向运动运动；检测组件30，位于所述载具盘101转运的路径上，用以检测所述载具盘101上料坑中有无半导体元件；侧顶组件40，所述侧顶组件40安装于所述导向组件20或所述承载架10，并能够沿着第二方向顶抵所述载具盘101；其中，所述第一方向与所述第二方向呈角度设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州长川科技股份有限公司 半导体元件的检测装置及其分选机
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