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申请/专利权人：内蒙古中环晶体材料有限公司
摘要：本发明属于单晶硅生产技术领域，涉及一种判断拉晶收尾工艺启动的方法，包括如下步骤：加入硅料，启动拉晶工艺，记录硅料的总投入量为Q；若晶棒存在断苞，将其取出并计算埚位上升的高度hl；根据所述埚位上升的高度hl计算所述硅料的消耗量Ql；根据所述消耗量Ql计算埚中的剩料量Qs；当所述剩料量Qs满足第二预设值，启动拉晶收尾工艺。本发明的有益效果是，在单晶生长过程中，固液界面不变，随着晶体的生长，坩埚内的剩料减少，埚位上升，用坩埚上升高度来计算埚内的剩料量，通过剩料量判定是否启动拉晶收尾工艺，减少了尾部出档的问题，生产出的单晶电参数电阻、少子寿命等在预设定范围之内，提高良率3％左右，产能提高8％左右。
主权项：1.一种判断拉晶收尾工艺启动的方法，其特征在于，包括如下步骤：加入硅料，启动拉晶工艺，记录硅料的总投入量Q；若晶棒存在断苞，将其取出并计算埚位上升的高度hl；根据所述埚位上升的高度hl计算所述硅料的消耗量Ql；根据所述消耗量Ql计算埚中的剩料量Qs；当所述剩料量Qs满足第二预设值，启动拉晶收尾工艺。
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权利要求：
百度查询： 内蒙古中环晶体材料有限公司 一种判断拉晶收尾工艺启动的方法及装置
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