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封装件及其形成方法 

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申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司

摘要:在实施例中,封装件包括:集成电路管芯,包括第一绝缘接合层和第一半导体衬底;以及中介层,包括第二绝缘接合层、第一密封环和第二半导体衬底。第二绝缘接合层以电介质对电介质接合而直接接合至第一绝缘接合层,并且其中集成电路管芯与第一密封环重叠。集成电路管芯的侧壁暴露在封装件的外侧壁处。本公开的实施例还涉及形成封装件的方法。

主权项:1.一种封装件,包括:集成电路管芯,包括第一绝缘接合层和第一半导体衬底;以及中介层,包括第二绝缘接合层、第一密封环和第二半导体衬底,其中,所述第二绝缘接合层以电介质对电介质接合而直接接合至所述第一绝缘接合层,并且其中,所述集成电路管芯与所述第一密封环重叠,并且其中,所述集成电路管芯的侧壁暴露在所述封装件的外侧壁处。

全文数据:

权利要求:

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