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申请/专利权人：苏州沁瑶企业咨询管理有限公司
摘要：本发明公开了一种碳化硅晶圆材料及其制备方法，包括碳化硅晶圆本体，所述碳化硅晶圆本体设置在卡槽的内部，且碳化硅晶圆本体包括基板、氮化层和氧化层，所述基板的上下两侧均设置有氮化层，且氮化层的外侧设置有氧化层。该碳化硅晶圆材料及其制备方法，第二电动伸缩杆推动齿条移动，齿条移动的过程中将推动齿轮带动转轴旋转，转轴将带动安装罩及其内部的两组输送管转动，从而便于输送管底部的喷头对载物板上不同位置的晶圆喷出反应气体并以此保证气象沉积的质量，圆弧状的输送管使得其底部的喷头的高度呈递减状，避免因输送管中部的喷头靠近分流管的底部，侧面的喷头远离第一分流管和第二分流管的底部而出现晶圆中部反应厚度比侧面厚的问题。
主权项：1.一种碳化硅晶圆材料，包括碳化硅晶圆本体8，其特征在于：所述碳化硅晶圆本体8设置在卡槽6的内部，且碳化硅晶圆本体8包括基板801、氮化层802和氧化层803，所述基板801的上下两侧均设置有氮化层802，且氮化层802的外侧设置有氧化层803。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州沁瑶企业咨询管理有限公司 一种碳化硅晶圆材料及其制备方法
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