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一种LED芯片的转移装置及转移方法 

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申请/专利权人:天府兴隆湖实验室

摘要:本申请提供一种LED芯片的转移装置及转移方法,涉及半导体技术领域。所述LED芯片的转移装置包括光源组件、键合载片组件以及调平对准组件;键合载片组件包括载片台、吸盘以及运动控制部件,载片台与吸盘相对设置;载片台用于放置电路基板,吸盘用于吸附转移基板,运动控制部件用于控制载片台向靠近或远离吸盘的方向移动;调平对准组件用于调整载片台的位置,以实现电路基板与转移基板的对位;光源组件用于提供焊接所需的脉冲矩阵光辐射。在上述结构中,通过调平对准组件调整载片台的位置,可以实现电路基板与转移基板的高精准对位,同时,通过脉冲矩阵光的高能量、大面积光源辐照可以将LED芯片快速、巨量地焊接到电路基板上。

主权项:1.一种LED芯片的转移装置,其特征在于,包括:光源组件、键合载片组件以及调平对准组件;所述键合载片组件包括载片台、吸盘以及运动控制部件,所述载片台与所述吸盘相对设置;所述载片台用于放置电路基板,所述吸盘用于吸附转移基板,所述运动控制部件用于控制所述载片台向靠近或远离所述吸盘的方向移动;所述调平对准组件用于调整所述载片台的位置,以实现所述电路基板与所述转移基板的对位;所述光源组件用于提供焊接所需的脉冲矩阵光辐射。

全文数据:

权利要求:

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