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申请/专利权人：北京旭灿半导体科技有限公司;东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司
摘要：本申请提供一种用于安装温场组合体的辅助工具，包括：托板，托板具有与长晶炉平台相配合的通孔，托板包括多个拼接板体，各拼接板体沿通孔的径向向托板的外边缘延伸，板体的上表面具有位置标识，温场组合体设置在板体的上表面，温场组合体与位置标识相对应，通孔位于温场组合体在竖直方向上的投影内，相邻的拼接板体设置有相互配合的连接部。本申请的技术方案有效地解决了现有技术中的温场组合体安装效率较低，一致性较差的问题。
主权项：1.一种用于安装温场组合体的辅助工具，其特征在于，包括：托板10，所述托板10具有与长晶炉平台相配合的通孔100，所述托板10包括多个拼接板体11，各所述拼接板体11沿所述通孔100的径向向所述托板10的外边缘延伸，所述拼接板体11的上表面具有位置标识12，温场组合体200设置在所述板体的上表面，所述温场组合体200与所述位置标识12相对应，所述通孔100位于所述温场组合体200在竖直方向上的投影内，相邻的所述拼接板体11设置有相互配合的连接部13。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京旭灿半导体科技有限公司 东旭科技集团有限公司 东旭集团有限公司 用于安装温场组合体的辅助工具
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