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申请/专利权人：郑州鬃晶科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种籽晶粘贴设备，涉及半导体生产设备技术领域，包括升降座、固定座和驱动件；所述驱动件、升降座和固定座从上向下间隔设置，升降座竖向移动、且升降座与固定座之间连接有若干弹簧；升降座上侧支撑籽晶和石墨盖，驱动件驱动石墨盖下移；固定座上侧设有若干高度可调节的支撑柱；本实用新型具有高度可调节的支撑柱，从而限制驱动件下压距离和弹簧压缩量，利用弹簧形变量不同实现施压力度大小的调节；并通过多个弹簧使各处压力均匀，使籽晶粘接均匀。
主权项：1.一种籽晶粘贴设备，包括升降座（1）、固定座（2）和驱动件（3）；其特征在于：所述驱动件（3）、升降座（1）和固定座（2）从上向下间隔设置，升降座（1）竖向移动、且升降座（1）与固定座（2）之间连接有若干弹簧（5）；升降座（1）上侧支撑籽晶（13）和石墨盖（12），驱动件（3）驱动石墨盖（12）下移；固定座（2）上侧设有若干高度可调节的支撑柱（6）。
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权利要求：
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