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申请/专利权人：莫福托尼克斯控股有限公司
摘要：本发明涉及一种用于微型元件的转移工艺，包括至少一个拾取步骤和至少一个放置步骤，在拾取步骤中，通过至少一个转移表面从至少一个供体表面拾取至少一个微型元件，在放置步骤中，将至少一个微型元件从至少一个转移表面放置在至少一个接收表面上，其中，根据本发明的工艺使得至少拾取步骤能够受益于若干灵活的参数。
主权项：1.一种微型元件的转移工艺，包括：-至少一个拾取步骤，其中，通过至少一个转移表面从至少一个供体表面拾取至少一个微型元件；和-至少一个放置步骤，其中，将至少一个微型元件从至少一个转移表面放置在至少一个接收表面上；其中，在放置步骤之前，执行至少两个拾取步骤，并且其中，在每个后续拾取步骤之前，改变至少一个供体表面和至少一个转移表面的相互定向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 莫福托尼克斯控股有限公司 微型元件的转移工艺
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