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申请/专利权人：中南钻石有限公司
摘要：用于微波电真空器件的金刚石窗口制备方法，其特征在于，具体按以下步骤实施：对金刚石单晶片进行清洗；对金刚石单晶片的波导区进行物理遮挡；对金刚石单晶片封焊区域进行化学气相刻蚀，对金刚石单晶片进行粗化、活化；预制键合金属框架层；键合金属框架层组装在刻蚀片封焊区的两面，并进行高温键合处理；最后进行封装处理。金刚石窗口包括键合金属框架层，键合金属框架层由键合接触层、骨架支撑层和封装结合层组成，其中键合接触层与骨架支撑层的厚度比为1:2‑4，键合接触层与封装结合层的厚度比为1:5‑10，通过该方法获得的可以满足大功率微波电真空条件下使用的窗口，其微波性能、真空漏率等技术指标性能优异。
主权项：1.用于微波电真空器件的金刚石窗口制备方法，其特征在于，具体按以下步骤实施：步骤1、对金刚石单晶片进行清洗；步骤2、标记金刚石单晶片的中心区域为波导区，波导区的外围为封焊区，对波导区进行物理遮挡处理，得到遮挡片；步骤3、对步骤2中的遮挡片进行化学气相刻蚀，使得封焊区进行粗化、活化，得到刻蚀片；步骤4、预制键合金属框架层：预制金属泊片，将键合接触层、骨架支撑层、封装结合层依次进行组装，并记作键合金属框架层；步骤5、将步骤4中所述键合金属框架层组装在刻蚀片封焊区的两面，其中键合接触层与封焊区相接，然后使用六面顶压机进行高温键合处理，得到用于窗口的金刚石组合材料X；步骤6、采用高真空封装设备，对步骤5中用于窗口的金刚石组合材料X进行封装处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中南钻石有限公司 用于微波电真空器件的金刚石窗口及其制备方法
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