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申请/专利权人：华中科技大学

摘要：本发明公开了一种等厚干涉条纹移动的五自由度激光干涉仪及测量方法，涉及激光干涉多自由度运动测量技术领域，本发明通过设计两路包含分光棱镜、镀反射膜分光棱镜、目标测试立方块及观测相机的激光干涉测量部分；首先通过调节每路镀反射膜分光棱镜及目标测试立方块的位置和姿态，实现两个平动自由度的运动测量；而后通过转动目标测试立方块的目标反射镜测量两部分的转动自由度的运动测量，并将两部分的转动自由度的运动测量相结合，实现三个转动自由度的运动测量，整体实现五自由度的运动测量，整体结构简单，光束在传输过程中只经较少的反射和透射，不会出现较多的平行度误差，测量精准度大幅提高。

主权项：1.一种等厚干涉条纹移动的五自由度激光干涉仪，其特征在于，包括：单色光源1、分光棱镜2、第一镀反射膜分光棱镜3、第二镀反射膜分光棱镜4、目标测试立方块5、第一观测相机6和第二观测相机7；所述单色光源1出射的激光到达分光棱镜2后，一半光功率激光分量的激光被反射至第一镀反射膜分光棱镜3，经第一镀反射膜分光棱镜3后将一半光功率激光分量的激光的再一半光功率激光分量的激光透射至第一镀反射膜分光棱镜3上的反射膜M1上，并被反射进入第一镀反射膜分光棱镜3再被反射至第一观测相机6；经第一镀反射膜分光棱镜3将一半光功率激光分量的激光的剩下一半光功率激光分量的激光反射至目标测试立方块5，经目标测试立方块5上的反射膜M2反射后，该剩下一半光功率激光分量的激光携带位置及角度信息透过第一镀反射膜分光棱镜3至第一观测相机6；两路到达第一观测相机6的光束产生干涉，形成第一平动自由度的干涉条纹；经分光棱镜2的另一半光功率激光分量的激光被透射至第二镀反射膜分光棱镜4，经第二镀反射膜分光棱镜4后将另一半光功率激光分量的激光的再一半光功率激光分量的激光透射至第二镀反射膜分光棱镜4上的反射膜M3上，并被反射进入第二镀反射膜分光棱镜4再被反射至第二观测相机7；经第二镀反射膜分光棱镜4将另一半光功率激光分量的激光的剩下一半光功率激光分量的激光反射至目标测试立方块5，经目标测试立方块5上的反射膜M4反射后，该剩下一半光功率激光分量的激光携带位置及角度信息透过第二镀反射膜分光棱镜4至第二观测相机7；两路达到第二观测相机7的光束产生干涉，形成第二平动自由度的干涉条纹；当反射膜M2转动时，反射膜M2在x、y方向同时发生偏转，经第一镀反射膜分光棱镜3的一半光功率激光分量的激光经目标测试立方块5的反射膜M2反射至第一观测相机6，与另一路光束产生干涉，形成x、y两个偏转方向的干涉条纹；当反射膜M4转动时，反射膜M4在x、y方向同时发生偏转，经第二镀反射膜分光棱镜4的一半光功率激光分量的激光经目标测试立方块5的反射膜M4反射至第二观测相机7，与另一路光束产生干涉，形成x、y两个偏转方向的干涉条纹；将反射膜M2转动形成的x、y两个偏转方向的干涉条纹与反射膜M4转动形成的x、y两个偏转方向的干涉条纹分别对应叠加，形成三个转动自由度的干涉条纹。

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