Document
拖动滑块完成拼图
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

高电子迁移率晶体管和集成HEMT器件 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:厦门市三安集成电路有限公司

摘要:本发明涉及半导体制造技术领域,特别涉及一种高电子迁移率晶体管,其包括第一帽层、阻挡层、第一GaAs层、平面掺杂层和InxGa1‑xAs接触层,阻挡层设置在第一帽层之上,第一GaAs层设置在阻挡层之上,平面掺杂层设置在第一GaAs层之上,InxGa1‑xAs接触层设置在平面掺杂层之上,0.1≤x≤0.3。借此设置,可以避免InxGa1‑xAs接触层和GaAs层之间的晶格失配问题,提高高电子迁移率晶体管器件的电学性能和可靠性,并且还可有效降低高电子迁移率晶体管器件的欧姆接触电阻。

主权项:1.一种高电子迁移率晶体管,其特征在于:所述高电子迁移率晶体管包括复合帽层,所述复合帽层包括:第一帽层;阻挡层,设置在所述第一帽层之上;第一GaAs层,设置在所述阻挡层之上;平面掺杂层,设置在所述第一GaAs层之上;InxGa1-xAs接触层,设置在所述平面掺杂层之上,其中,0.1≤x≤0.3。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 厦门市三安集成电路有限公司 高电子迁移率晶体管和集成HEMT器件

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

相关技术
相关技术
相关技术
相关技术