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申请/专利权人：中国科学院理化技术研究所
摘要：本发明涉及半导体材料技术领域，具体涉及一种液态金属氮化物薄膜的制备方法及其产品和应用。在本发明中，所述制备方法在酸性条件下将液态金属浸润于固态金属基底，采用反应磁控溅射制备液态金属氮化物薄膜。本发明提供的方法直接通过溅射过程产生液态金属氧化物薄膜，相较于传统方法简化了工艺流程，降低了生产成本，适合工业化生产推广。
主权项：1.液态金属氮化物薄膜的制备方法，其特征在于，在酸性条件下将液态金属浸润于固态金属基底，采用反应磁控溅射制备液态金属氮化物薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院理化技术研究所 液态金属氮化物薄膜的制备方法及其产品和应用
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