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申请/专利权人：株式会社则武
摘要：提供能获得研磨效率的硅研磨加工方法以及硅研磨液26。在使用内包有研磨磨粒36的内包研磨磨粒型研磨垫即研磨垫18在不含研磨磨粒的研磨液硅研磨用组合物26的供给下对工件硅晶片16进行研磨时，研磨液26包含有机胺和水，研磨液26的pH值为10.6～12.8，因此在由有机胺带来的强的碱性下硅的反应性得到提高，因此能得到高的研磨效率。
主权项：1.一种硅研磨加工方法，其特征在于，是使用内包有研磨磨粒的内包研磨磨粒研磨垫在不包含研磨磨粒的硅研磨用组合物的供给下对硅晶片进行研磨的硅研磨加工方法，所述硅研磨用组合物包含有机胺和水，所述硅研磨用组合物的pH值为10.6～12.8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社则武 硅研磨方法以及硅研磨用组合物
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