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申请/专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：一种切片机上料夹紧工装、切片机上料夹紧工装、晶锭上料装置及切片机，包括基板、支撑部、夹紧组件；支撑部沿基板的中线对称设在基板的下端面上；基板的下端面设有第一定位凸起、第二定位凸起，第二定位凸起的下端面上开设有气密检测孔；夹紧组件包括连接端头、伸缩部；伸缩部设于基板的上端面，伸缩部的下端贯穿基板，连接端头位于第一定位凸起与第二定位凸起之间且相接于伸缩部的下端。本发明在使用中，无需人工进行紧固，降低人员劳动强度；采用连接端头拉住晶锭接着工件板紧贴基板下端面，利用气密性检测孔检验晶锭接着工件板与基板之间是否处于紧密贴合，不仅能够保证夹紧的稳定性，而且能够确保晶锭的定位精度及切片质量。
主权项：1.一种切片机上料夹紧工装，其特征在于：包括基板、支撑部、夹紧组件；所述支撑部沿基板的中线对称设置在基板的下端面上；所述基板的下端面上并排设置有沿支撑部布设方向一致的第一定位凸起、第二定位凸起，第一定位凸起、第二定位凸起位于两个支撑部之间，在第二定位凸起的下端面上开设有气密检测孔；所述夹紧组件包括连接端头、伸缩部；所述伸缩部设置于基板的上端面，伸缩部的下端贯穿基板，所述连接端头位于第一定位凸起与第二定位凸起之间且相接于伸缩部的下端，连接端头能够拉住晶锭接着工件板紧贴基板下端面，以实现晶锭夹紧，当伸缩部伸出后，能够使连接端头推动晶锭接着工件板与基板下端面脱离，以实现晶锭的释放。
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百度查询： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 切片机上料夹紧工装、晶锭上料装置及切片机
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