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申请/专利权人：沈阳芯达半导体设备有限公司

摘要：本发明公开了一种晶圆横向抓取移动机构，涉及晶圆生产技术领域。该种晶圆横向抓取移动机构，包括旋涂箱和烘干箱，所述旋涂箱内设置有旋涂工作台和滴胶头，所述旋涂箱的顶部开设有进料口，且旋涂箱内通过升降机构连接有托盘，所述托盘上设置有晶圆盒，所述旋涂箱的底部固定连接有两个对称设置的气缸。该种晶圆横向抓取移动机构，能够对承载盘进行横向移动以及自动转动，从而实现对晶圆本体的横向抓取移动，使得对晶圆本体的移动更加方便快捷、效率更高；在对晶圆本体进行横向抓取移动的过程中，能够对其进行自动居中调节，保证后续旋涂的质量；在对晶圆本体移动的过程中，能够利用防护盖将承载盘罩起防护，能够避免气流的影响，保证旋涂的质量。

主权项：1.一种晶圆横向抓取移动机构，包括旋涂箱（1）和烘干箱（11），所述旋涂箱（1）内设置有旋涂工作台（101）和滴胶头（102），其特征在于：所述旋涂箱（1）的顶部开设有进料口（12），且旋涂箱（1）内通过升降机构（10）连接有托盘（31），所述托盘（31）上设置有晶圆盒（13），所述旋涂箱（1）的底部固定连接有两个对称设置的气缸（14），且各个气缸（14）的伸缩端固定连接有U形座（15），所述U形座（15）的顶部通过转动杆（16）转动连接有第一转动块（17），且第一转动块（17）的顶部固定连接有L形块（18），所述L形块（18）的侧壁固定连接有承载盘（19），且L形块（18）的顶部通过转动机构（9）转动连接有防护盖（20），所述承载盘（19）的顶部开设有两个对称设置的避让槽（21），且承载盘（19）的顶部中心位置开设有安装槽（22），所述安装槽（22）内通过移动组件（2）连接有移动块（23），且移动组件（2）用于对移动块（23）的移动进行导向；所述移动块（23）的顶部固定插设有抽气管（25），且抽气管（25）的上端固定连接有吸盘（24），所述抽气管（25）的下端贯穿移动块（23）的底部并通过伸缩机构（6）与移动块（23）的底部连接，且伸缩机构（6）用于对抽气管（25）的移动进行导向与复位；所述转动杆（16）的转动通过驱动机构（8）进行驱动，所述驱动机构（8）用于驱动转动杆（16）进行转动，且吸盘（24）的顶部设置有用于对晶圆本体进行居中调节的居中机构（26）；所述居中机构（26）包括开设在承载盘（19）顶部的多个阵列设置的条形开口（2601），且各个条形开口（2601）内插设有移动板（2602），所述移动板（2602）的顶部设置有第一斜面（2603），各个所述移动板（2602）通过第一复位机构（3）与承载盘（19）的底部连接，且移动板（2602）的移动通过推动机构（27）进行推动；所述推动机构（27）包括移动框（2701），且移动框（2701）的内侧壁固定连接有多个阵列设置的第一连接块（28），各个所述第一连接块（28）的侧壁固定连接有第一推动块（29），且推动块的底部设置有第二斜面（2901），所述抽气管（25）的侧壁固定套设有固定环（30），且承载盘（19）的底部固定连接有多个阵列设置的支撑块（2702），各个所述支撑块（2702）的侧壁通过转轴（2703）转动连接有转动板（2704），且转动板（2704）的侧壁开设有滑槽（2706），各个所述移动板（2602）的底部固定连接有连接板（2705），且连接板（2705）的侧壁固定连接有推动销（2707），所述推动销（2707）插设在滑槽（2706）内，且支撑块（2702）的侧壁固定连接有限位销（2712），所述移动框（2701）的侧壁固定连接有多个阵列设置的L形架（2711），且各个L形架（2711）的侧壁通过第二复位机构（5）连接有第二推动块（2708），所述第二推动块（2708）包括第三斜面（2709）和第四斜面（2710），且移动框（2701）和承载盘（19）之间设置有升降组件（7）。

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