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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
摘要：本申请提供了控制载台的电荷数量的方法及系统，根据载台的电荷数量、载台相应的电子束设备的生产数量和生产时长、晶圆的偏移量中的一种或多种，对载台进行静电消除。本申请能够在保证电子束设备的生产效率的前提下，控制载台的静电积聚，有效减少由于静电吸附造成的晶圆偏移和设备报警，此外，通过及时的静电消除措施，减少了晶圆偏移和破碎的风险，降低了电子束设备的非计划性停机和备件更换的需求，节约了成本，提高了晶圆的成品率。
主权项：1.一种控制载台的电荷数量的方法，其特征在于，所述载台用于承载晶圆，所述方法包括：根据所述载台的电荷数量、所述载台相应的电子束设备的生产数量和生产时长、所述晶圆的偏移量中的一种或多种，对所述载台进行静电消除。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安奕斯伟硅片技术有限公司 控制载台的电荷数量的方法及系统
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