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一种集成超构透镜的红外彩色焦平面探测器 

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申请/专利权人:中国科学院上海技术物理研究所

摘要:本发明公开了一种集成超构透镜的红外彩色焦平面探测器,在平面结构红外焦平面探测器的衬底上制备具有宽谱分离聚焦功能的红外超构透镜,入射的宽谱红外光透过红外超构透镜后发生谱段分离,不同谱段的红外光在衬底内分别汇聚至超像素的第一亚像元、第二亚像元和第三亚像元。三个亚像元独立输出探测信号,利用图像合成方法获得红外彩色图像。该探测器具有工作谱段宽、信号串扰小、能量损失少、集成度高,利用红外超构透镜与平面结构红外探测芯片获得红外彩色图像的优点。

主权项:1.一种集成超构透镜的红外彩色焦平面探测器,包括周期性红外超构透镜1,平面结构红外焦平面探测器2,其特征在于:所述的周期性红外超构透镜1通过减薄、抛光、光刻和刻蚀工艺制备在平面结构红外焦平面探测器2的衬底2-4上;平面结构红外焦平面探测器2的单个超像素与周期性红外超构透镜1的一个周期对应;平面结构红外焦平面探测器2相邻的三个像元组成一个超像素,分别为第一亚像元2-1、第二亚像元2-2和第三亚像元2-3;宽谱段红外光垂直平行入射周期性红外超构透镜1后,透射光发生光谱分离与会聚,较短波长红外光分离、会聚至第一亚像元2-1、中等波长红外光分离、会聚至第二亚像元2-2、较长波长红外光分离、会聚至第三亚像元2-3;将第一亚像元2-1、第二亚像元2-2和第三亚像元2-3的信号输出,利用假彩色合成方法获得红外彩色图像。

全文数据:

权利要求:

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