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申请/专利权人：广东工业大学
摘要：本申请提供了一种纳米级调平纠偏对位装置及半导体缺陷检测系统，涉及半导体检测技术领域。本申请将多个升降机构分别驱动连接于载物板的不同位置，并以压电陶瓷驱动器、底座、输出件及相对的两连接件构成升降机构，底座和输出件相对地设置在两连接件之间，在每个连接件与底座之间及与输出件之间均连接弹性梁，将压电陶瓷驱动器设在底座与输出件之间，通过压电陶瓷驱动器驱动两连接件在水平方向上运动，从而通过弹性梁带动输出件在竖直方向上运动，进而带动载物板与输出件相接的部分在竖直方向上运动，通过控制各升降机构中输出件的位移量，即可实现对载物板上晶圆的调平纠偏。由此，本申请可以实现高精度、高稳定性的调平纠偏操作。
主权项：1.一种纳米级调平纠偏对位装置，其特征在于，包括基座、载物板及多个升降机构，所述基座包括底板和承载台，所述承载台设置于所述底板的中心区域上，所述载物板设置于所述承载台上、且与所述承载台弹性连接，多个所述升降机构环绕所述承载台、且设置于所述底板上，每个所述升降机构均与所述载物板驱动连接，所述载物板上用于放置待检测晶圆；所述升降机构包括压电陶瓷驱动器、底座、输出件及相对设置的两个连接件，所述底座和所述输出件均位于两个所述连接件之间，所述底座设置于所述底板上，所述输出件与所述底座相对、且设置于所述载物板上，每个所述连接件与所述底座之间及与所述输出件之间均连接有至少一个弹性梁，所述压电陶瓷驱动器位于所述底座与所述输出件之间，所述压电陶瓷驱动器相对的两端分别与两个所述连接件驱动连接；其中，所述压电陶瓷驱动器用于驱动两个所述连接件在水平方向上运动，以通过所述弹性梁带动所述输出件在竖直方向上运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东工业大学 一种纳米级调平纠偏对位装置及半导体缺陷检测系统
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