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一种氧化镓日盲紫外探测器 

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申请/专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所

摘要:本发明提供一种氧化镓日盲紫外探测器,包括衬底层、氧化镓层、钝化层、铁电层和电极层,所述氧化镓层设置在所述衬底层的表面,所述钝化层设置在所述氧化镓层的表面,所述铁电层设置在所述钝化层的表面,所述铁电层覆盖部分所述钝化层,所述电极层覆盖于所述氧化镓层之上。本发明设计了一种新型氧化镓日盲紫外探测器,通过引入铁电层,利用铁电材料自发极化形成的局域场,调控铁电层覆盖下氧化镓层的能带结构,由此实现氧化镓层同质PNNPNPNP结的构建,提高探测器的光电增益和光生载流子的分离效率,从而获得低功耗、高可靠性、高灵敏度的日盲紫外光电探测器。

主权项:1.一种氧化镓日盲紫外探测器,其特征在于,包括衬底层、氧化镓层、钝化层、铁电层和电极层,所述氧化镓层设置在所述衬底层的表面,所述钝化层设置在所述氧化镓层的表面,所述铁电层设置在所述钝化层的表面,所述铁电层覆盖部分所述钝化层,所述电极层与所述氧化镓层接触,所述铁电层的材料选自PbZr,TiO3基铁电材料、BaTiO3基铁电材料、BiFeO3基铁电材料、Bi,NaTiO3基铁电材料或聚偏氟乙烯基聚化物中的一种,所述铁电层覆盖13-23的所述钝化层,所述铁电层的厚度介于20nm-300nm,所述钝化层的厚度介于5nm-100nm。

全文数据:

权利要求:

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