买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：西北工业大学

摘要：本发明提供一种步进式腔长可调光纤F‑P腔MEMS传感器及其封装方法，其中MEMS传感器包括桶型壳体、敏感芯片和光纤，敏感芯片设置在壳体底部，光纤轴向设置在壳体内与敏感芯片相对，壳体下端部设置有水平调节机构，水平调节机构延伸进壳体内用于调节敏感芯片位置，壳体上端部内周设置有调节筒，调节筒内周套设有夹持光纤的夹持组件，壳体上端部周向设置有垂直调节机构，垂直调节机构用于调节光纤轴向移动，垂直调节机构包括至少一对垂直调节组件，垂直调节组件分布设置在壳体上端部周向，垂直调节组件包括设置在壳体周向的齿轮和设置在调节筒外周的齿条，齿轮和齿条啮合。本发明通过垂直调节机构实现腔长调节，避免人工插入光纤与芯片距离误差的问题。

主权项：1.一种步进式腔长可调光纤F-P腔MEMS传感器，其特征在于：包括桶型的壳体、敏感芯片（3）和光纤（10），所述敏感芯片（3）设置在所述壳体的底部，所述光纤（10）轴向设置在所述壳体内与所述敏感芯片（3）上下相对，所述壳体的下端部设置有水平调节机构，所述水平调节机构延伸进所述壳体内的一端用于调节所述敏感芯片（3）在所述壳体底部的水平位置；所述壳体的上端部内周设置有调节筒（7），所述调节筒（7）的内周套设有用于夹持所述光纤（10）的夹持组件，所述壳体的上端部周向还设置有垂直调节机构，所述垂直调节机构用于调节所述调节筒（7）带动所述光纤（10）轴向移动，所述垂直调节机构包括至少一对垂直调节组件，所述垂直调节组件分布设置在所述壳体的上端部周向，所述垂直调节组件包括设置在所述壳体周向的齿轮（5）和设置在所述调节筒（7）外周的齿条（071），所述齿轮（5）和所述齿条（071）啮合；所述夹持组件包括至少一对相对设置的固定凸块（9），所述固定凸块（9）的一端连接在所述调节筒（7）的内周，所述固定凸块（9）的另一端用于夹持所述光纤（10）；所述调节筒（7）的内周还设置有位于每个所述固定凸块（9）下端的固定架（12），所述固定架（12）上设置有弹簧（11），所述弹簧（11）的一端抵挡在所述固定凸块（9）上，所述固定凸块（9）的一端轴向滑动连接在所述调节筒（7）的内周；所述调节筒（7）的内周还设置有位于每个所述固定凸块（9）上端的限位板（8），所述限位板（8）用于限位所述固定凸块（9）移出所述调节筒（7）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西北工业大学 一种步进式腔长可调光纤F-P腔MEMS传感器及其封装方法