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申请/专利权人：浙江求是创芯半导体设备有限公司
摘要：本申请公开了一种抬升调节组件及晶圆驱动装置，抬升调节组件包括抬升面板、升降面板、旋转轴、升降轴、第一升降组件、第二升降组件，升降面板包括自上而下排布的第一升降板、第二升降板、第三升降板和第四升降板，相邻两个升降板之间能够沿设定方向相对移动，旋转轴沿竖直方向延伸并穿设于抬升面板，升降轴与抬升面板固定连接，升降轴围绕旋转轴的轴线周向分布，第一升降组件设于第二升降板和第三升降板之间，并驱动第二升降板沿第一方向运动，第二升降组件设于第三升降板和第四升降板之间，并驱动第三升降板沿第二方向运动，第一方向与第二方向不重合。通过上述设置，便于调节升降轴与旋转轴的同轴度，从而提升晶圆覆膜的均匀性。
主权项：1.一种抬升调节组件，应用于晶圆驱动装置，其特征在于，所述抬升调节组件包括：抬升面板1511；升降面板1512，所述升降面板1512包括自上而下排布的第一升降板1512c、第二升降板1512d、第三升降板1512e和第四升降板1512f，相邻两个升降板之间能够沿设定方向相对移动，所述升降面板1512通过所述第一升降板1512c与所述抬升面板1511连接；旋转轴1513，所述旋转轴1513沿竖直方向延伸并穿设于所述抬升面板1511；升降轴1514，所述升降轴1514与所述抬升面板1511固定连接，所述升降轴1514围绕所述旋转轴1513的轴线周向分布，且所述升降轴1514与所述旋转轴1513之间具有间隙1513a；第一升降组件1515，所述第一升降组件1515设于所述第二升降板1512d和所述第三升降板1512e之间，所述第一升降组件1515能够驱动所述第二升降板1512d沿第一方向102运动；第二升降组件1516，所述第二升降组件1516设于所述第三升降板1512e和所述第四升降板1512f之间，所述第二升降组件1516能够驱动所述第三升降板1512e沿第二方向103运动，所述第一方向102与所述第二方向103不重合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江求是创芯半导体设备有限公司 抬升调节组件及晶圆驱动装置
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