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申请/专利权人：深圳众诚达应用材料股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种金属旋转靶材，包括：一体成型且由金属旋转靶材的中心处向两端依次延伸相连的圆筒段、过渡段和端头段；圆筒段、过渡段和端头段的内径相同；且圆筒段的外径大于过渡段的外径；端头段沿金属旋转靶材的径向在过渡段的端部由内向外凸起于过渡段的外周面，以在金属旋转靶材的长度两端形成环形凸起状的法兰连接部，法兰连接部可用于配合环形卡箍与安装法兰连接。本实用新型提供的金属旋转靶材法兰部的设置使金属靶材的连接处厚度大于过渡段的厚度，不仅不会破坏过渡段的结构强度，而且还对连接处的结构进行了加强，有效避免了由于靶材壁厚变薄，导致端头处结构强度不足，进而在使用过程在凹槽处弯曲、形变或断裂的情况发生。
主权项：1.一种金属旋转靶材，其特征在于，包括：一体成型且由所述金属旋转靶材的中心处向两端依次延伸相连的圆筒段、过渡段和端头段；所述圆筒段、所述过渡段和所述端头段的内径相同；且所述圆筒段的外径大于所述过渡段的外径；所述端头段沿所述金属旋转靶材的径向在所述过渡段的端部由内向外凸起于所述过渡段的外周面，以在所述金属旋转靶材的长度两端形成环形凸起状的法兰连接部，所述法兰连接部可用于配合环形卡箍与安装法兰连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳众诚达应用材料股份有限公司 一种金属旋转靶材
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