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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明公开了一种快速定位联合语义解释的半导体缺陷分析方法及系统，属于半导体缺陷分析领域。获取晶圆缺陷图像诊断数据集，包含晶圆缺陷SEM图像和诊断报告，诊断报告中包含针对多个缺陷诊断任务的句子；采用晶圆缺陷图像诊断数据集训练缺陷图像诊断网络，缺陷图像诊断网络包括FasterR‑CNN编码器和用于不同缺陷诊断任务的基于注意力机制的LSTM解码器；在缺陷图像诊断网络的训练过程中，将缺陷诊断任务的句子作为解码器的输入，引导解码器生成目标句子；利用训练后的缺陷图像诊断网络分析晶圆缺陷SEM图像，生成诊断报告。本发明在视觉和语言任务与目标检测的最新进展之间建立了更紧密的联系，输出句子的准确率得到更大提升。
主权项：1.一种快速定位联合语义解释的半导体缺陷分析方法，其特征在于，包括：获取包含晶圆缺陷SEM图像和诊断报告的晶圆缺陷图像诊断数据集，所述诊断报告中包含针对不同缺陷诊断任务的多个句子；构建缺陷图像诊断网络，所述的缺陷图像诊断网络包括FasterR-CNN编码器和用于不同缺陷诊断任务的基于注意力机制的LSTM解码器；采用晶圆缺陷图像诊断数据集训练缺陷图像诊断网络，将晶圆缺陷SEM图像输入至FasterR-CNN编码器中，获得该晶圆缺陷SEM图像的特征向量，利用LSTM解码器对所述特征向量逐步解码生成对应相应缺陷诊断任务的单词的词向量表示，根据词向量表示生成单词，并将全部单词依次拼接组成缺陷诊断任务的句子；不同缺陷诊断任务的句子组合得到诊断报告；在缺陷图像诊断网络的训练过程中，将缺陷诊断任务的句子作为LSTM解码器的输入，引导LSTM解码器生成目标句子；利用训练后的缺陷图像诊断网络分析待处理的晶圆缺陷SEM图像，生成诊断报告。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 一种快速定位联合语义解释的半导体缺陷分析方法及系统
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