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一种硅漂移探测器及制备方法 

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申请/专利权人:山东东仪光电仪器有限公司;烟台东仪光电产业技术研究院有限公司

摘要:本发明涉及探测器制造技术领域,公开一种硅漂移探测器,包括:N型硅片、P型光接收阴极、N型阳极、至少两个P型漂移电极环、环间分压电阻线、氧化层薄膜和金属电极;其中,P型光接收阴极设置在N型硅片的底端;N型阳极嵌套设置在N型硅片的顶端中心位置;至少两个P型漂移电极环以N型阳极为圆心,逐层围绕在N型阳极的外侧,离N型阳极最近的一层P型漂移电极环为封闭圆环,剩余的P型漂移电极环为带有开口的圆环,且各圆环的开口在同一条直线上;环间分压电阻线设置在各P型漂移电极环的开口处,与各层P型漂移电极环相连;各个相邻的P型漂移电极环之间的电阻线长度、宽度以及电阻值均相等,最大程度提升内部电势均匀性。

主权项:1.一种硅漂移探测器,其特征在于,所述硅漂移探测器包括:N型硅片;P型光接收阴极,设置在所述N型硅片的底端;N型阳极,嵌套设置在所述N型硅片的顶端中心位置;至少两个P型漂移电极环,以所述N型阳极为圆心,逐层围绕在所述N型阳极的外侧,离所述N型阳极最近的一层所述P型漂移电极环为封闭圆环,剩余的所述P型漂移电极环为带有开口的圆环,且各圆环的开口在同一条直线上;环间分压电阻线,设置在各所述P型漂移电极环的开口处;氧化层薄膜,设置在相邻的所述P型漂移电极环之间和所述P型漂移电极环与所述N型阳极之间;金属电极,设置在各所述P型漂移电极环和所述N型阳极上侧。

全文数据:

权利要求:

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