龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：熠铎科技(苏州)有限公司
摘要：本发明涉及刻蚀装置技术领域，公开了一种晶圆玻璃载片坯料边缘损伤层刻蚀装置，包括：机壳和工作台，所述机壳中部设有工作台，所述工作台顶部设有刻蚀槽，所述刻蚀槽中央设有转盘，所述转盘顶部开设有定位槽，所述定位槽内部设有导向杆，所述导向杆顶端设有晶圆放置板，晶圆放置板上设有吸附组件，本发明通过输气管和支管的输送，正压空气对弹性气囊进行正压打气充气，在导向杆的导向作用下，晶圆放置板上升，使得晶圆与刻蚀液进行分离，整个晶圆与刻蚀液分离过程中，晶圆放置平稳，避免损害晶圆表面的微观结构，同时避免人员操作不当造成的污染或损伤问题。
主权项：1.一种晶圆玻璃载片坯料边缘损伤层刻蚀装置，包括：机壳1和工作台2，其特征在于：所述机壳1中部设有工作台2，所述工作台2顶部设有刻蚀槽3，所述刻蚀槽3中央设有转盘4，所述转盘4顶部开设有定位槽5，所述定位槽5内部设有导向杆6，所述导向杆6顶端设有晶圆放置板7，晶圆放置板7上设有吸附组件，吸附组件的底端设有弹性气囊19，所述弹性气囊19底端设有支管17，所述支管17底端设有旋转接头16，所述旋转接头16底端设有输气管15，所述机壳1底部内壁一侧设有抽气打气两用泵9，所述输气管15一端与抽气打气两用泵9一端相连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 熠铎科技(苏州)有限公司 一种晶圆玻璃载片坯料边缘损伤层刻蚀装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号