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申请/专利权人：福建省晋华集成电路有限公司
摘要：本发明公开了一种对准标记结构以及半导体器件，该结构可以包括基底，位于基底上且基于预设中心呈中心对称排布的第一对准标记和第二对准标记，以及位于基底上且基于预设中心呈中心对称的第三对准标记和第四对准标记，其中第一对准标记包括在第一方向上排布的多个第一光栅，第三对准标记包括在第二方向上排布的多个第二光栅，第二方向和第一方向垂直，第一光栅包括第一弯折图案和或第二光栅包括第二弯折图案，通过将相互独立的多个精细化光栅结构变为一体设置的弯折图案，可以避免光栅的结构变形，有利于提高基于对准标记结构进行定位或各层之间对位的精度。
主权项：1.一种对准标记结构，其特征在于，包括：基底；位于所述基底上的第一对准标记，所述第一对准标记包括在第一方向上间隔排布的多个第一光栅；位于所述基底上的第二对准标记，所述第二对准标记包括在第一方向上间隔排布的多个子光栅；至少一所述第一光栅或子光栅包括第一弯折图案，其中，所述第一弯折图案包括：多个第一条形部，所述第一条形部沿第二方向延伸，多个所述第一条形部平行设置且在所述第一方向上间隔排列；多个第一连接部，所述第一连接部在所述第一方向延伸，且在所述第一条形部的两侧交替设置，以连接相邻两个所述第一条形部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福建省晋华集成电路有限公司 一种对准标记结构以及半导体器件
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