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申请/专利权人：捷捷微电(南通)科技有限公司
摘要：本申请提供一种取片工具，涉及半导体技术领域，包括：手柄和与所述手柄连接的吸盘，所述吸盘上设置有吸取孔，所述手柄具有与所述吸取孔连通的通道，所述通道连接真空装置，以用于通过所述通道向所述吸取孔输送真空吸取位于工装上的晶圆。采用真空吸取晶圆的方式，手柄上形成通道，吸盘上设置吸取孔，通道和吸取孔连通，通道连接真空装置，真空装置通过通道向吸取孔输送真空，利用真空吸取工装上的晶圆，这样避免了采用夹子夹取晶圆掉落的风险，且夹子夹取时开合操作空间较大，而直接吸取所需的空间较小，本申请采用吸盘取片的方式，保证了取片的安全性、便捷性，对晶圆和设备也具有保护作用。
主权项：1.一种取片工具，其特征在于，包括：手柄和与所述手柄连接的吸盘，所述吸盘上设置有吸取孔，所述手柄具有与所述吸取孔连通的通道，所述通道连接真空装置，以用于通过所述通道向所述吸取孔输送真空吸取位于工装上的晶圆；所述手柄和所述吸盘之间通过球形轴承连接，以使所述吸盘可相对所述手柄扭转任意角度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 捷捷微电(南通)科技有限公司 一种取片工具
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