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摘要：一种相移掩模坯料，其具有：基板，和在所述基板上成膜的第1层，所述第1层包含锆Zr、硅Si和氮N，所述第1层在对波长365nm的光赋予180°的相移的膜厚下的透射率为4％以上且为40％以下。
主权项：1.一种相移掩模坯料，其具有：基板；和在所述基板上成膜的第1层，所述第1层包含锆Zr、硅Si和氮N，所述第1层在对波长365nm的光赋予180°的相移的膜厚下的透射率为4％以上且为40％以下。
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百度查询： 株式会社尼康 相移掩模坯料、相移掩模及它们的制造方法
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