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摘要：本发明公开了一种具有异形纳米图形的掩膜版制作方法，包括：根据所需的异形掩膜版的形状制作相同形状的加工件；根据所需的异形掩膜版的形状，在标准掩膜版的加工面制作相同形状的仿形槽；安装所述加工件于所述仿形槽内，形成待加工组件；所述待加工组件在所述加工件所在区域之内进行纳米图形加工；分离具有纳米图形的所述加工件和所述标准掩膜板。本实施例的具有异形纳米图形的掩膜版制作方法中的加工件安装于标准尺寸的标准掩膜版内，通过标准掩膜版在常规量产设备上加工出异形纳米图形，加工件直接与标准掩膜版分离即可得到具有异形纳米图形的掩膜版，减少切除的干扰，其良品率更高，制作成本更低。
主权项：1.一种具有异形纳米图形的掩膜版制作方法，其特征在于，包括如下步骤：根据所需的异形掩膜版的形状制作相同形状的加工件；根据所需的异形掩膜版的形状，在标准掩膜版的加工面制作相同形状的仿形槽；安装所述加工件于所述仿形槽内，形成待加工组件；所述待加工组件在所述加工件所在区域之内进行纳米图形加工；分离具有纳米图形的所述加工件和所述标准掩膜板。
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百度查询： 长沙韶光芯材科技有限公司 一种具有异形纳米图形的掩膜版制作方法
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