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摘要：本发明公开了一种晶圆清洗花篮抓取装置，涉及抓取装置技术领域，包括支架和花篮机构，所述花篮机构包括清洗花篮篮体，所述清洗花篮篮体的侧板上开设有通孔，所述清洗花篮篮体的顶部设置有浮板，所述清洗花篮篮体的内壁中部固定连接有分隔板，所述支架的底部设置有旋转沥水机构，通过设置固定机构，可以在使用时，通过带动向上或者向下运动，可以使得两个移动板相向或者反向运动，从而可以完成对清洗花篮篮体的夹持，同时通过设置卡接板，可以与清洗花篮篮体的上沿处相卡合，以此可以增大固定机构与清洗花篮篮体之间的接触面积同时可以对清洗花篮篮体进行夹持，避免清洗花篮篮体发生掉落。
主权项：1.一种晶圆清洗花篮抓取装置，包括支架1和花篮机构2，所述花篮机构2包括清洗花篮篮体201，所述清洗花篮篮体201的侧板上开设有通孔202，所述清洗花篮篮体201的顶部设置有浮板203，所述清洗花篮篮体201的内壁中部固定连接有分隔板204，其特征在于：所述支架1的底部设置有旋转沥水机构3，所述旋转沥水机构3用于对所述花篮机构2进行旋转；所述旋转沥水机构3的底部设置有固定机构4，所述固定机构4包括夹持单元41和驱动单元42，所述夹持单元41和所述驱动单元42配合使用，所述固定机构4用于对所述花篮机构2进行夹持。
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百度查询： 江苏亚电科技股份有限公司 一种晶圆清洗花篮抓取装置
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