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摘要：本发明公开了一种兼容高低倍率检测的晶圆切割道检测系统及检测方法，包括检测本体，检测本体一侧设置有检测口，检测口设置透光片；检测本体另一侧设有高倍采集装置、低倍采集装置和控制单元；检测本体内呈四十五度倾斜设有与控制单元电气连接的光路切换装置；高倍采集装置和低倍采集装置均设有同轴光源；光路切换装置包括切换框体，切换框体具有工作区和存储区；切换框体滑动设有半反半透组件和第一反射组件；检测本体内还设有与光路切换装置平行设置的第二反射组件；第二反射组件与高倍采集装置位置对应；适应不同入射光环境下的切换，无需进行大功率补光，避免了仅使用半反半透镜需要大功率补光带来的成像炫光问题，提高了成像质量。

主权项：1.一种兼容高低倍率检测的晶圆切割道检测系统，其特征在于，包括检测本体，检测本体一侧设置有检测口，检测口设置透光片；检测本体另一侧设有高倍采集装置、与检测口位置对应的低倍采集装置以及与高倍采集装置和低倍采集装置电气连接的控制单元；检测本体内呈四十五度倾斜设有与控制单元电气连接的光路切换装置；高倍采集装置和低倍采集装置均设有同轴光源；光路切换装置包括切换框体，切换框体具有与检测口对应的工作区和与检测口错开的存储区；切换框体滑动设有半反半透组件和第一反射组件；检测本体内还设有与光路切换装置平行设置的第二反射组件；第二反射组件与高倍采集装置位置对应；在半反半透组件和第一反射组件均处于存储区时，光路切换装置处于完全透射状态；在半反半透组件处于工作区时，光路切换装置处于半反半透状态；在第一反射组件处于工作区时，光路切换装置处于完全反射状态；切换框体的一侧滑动设有第一推杆和与第一推杆连接的第一滑块，切换框体的另一侧滑动设有第二推杆和与第二推杆连接的第二滑块；切换框体两外侧壁切换框体两内侧壁均设置有呈Z形的第一轨道，切换框体两外侧壁均设置有呈Z形的第二轨道，同一侧的第一轨道和第二轨道在工作区的一端位于同一直线上，同一侧的第一轨道和第二轨道在存储区的一端平行设置，第一轨道的宽度大于第二轨道的宽度；半反半透组件与第一轨道滑动连接并与第一滑块滑动铰接，第一反射组件与第二轨道滑动连接并与第二滑块滑动铰接；半反半透组件的两侧均间隔设有与第一轨道相适配的第一销轴，位于切换框体一侧且靠近工作区的第一销轴上同轴设置有第一连接轴，第一连接轴活动贯穿切换框体后与第一滑块滑动铰接；第一反射组件的两侧均间隔设有与第二轨道相适配的第二销轴，位于切换框体相对的另一侧且靠近工作区的第二销轴上同轴设置有第二连接轴，第二连接轴活动贯穿切换框体后与第二滑块滑动铰接；切换框体对应第一连接轴的一侧设置与第一轨道轨迹相适配的第三轨道，以在半反半透组件从工作区滑动至存储区时，第一连接轴能够沿着第三轨道移动。

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