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摘要：本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，且公开了一种用于半导体级多晶硅的置换装置，包括固定组件，固定组件包括：还原炉尾气管道外侧设置有压力变送器；电动阀门设置于还原炉尾气管道的一端；第一连接管设置于电动阀门的一侧；吸气阀设置于第一连接管的顶部；第一连接管的外侧设置有真空置换组件，真空置换组件包括：L型分流管设置于第一连接管的外侧；罗茨泵设置于L型分流管的一端；第一分流管设置于罗茨泵的一侧；缓冲罐设置于第一分流管的一端，并与第一连接管的一端固定连接；前级水环式真空泵设置于缓冲罐的一侧，通过设置真空置换组件，提高了还原炉内的的真空度，满足满足半导体级多晶硅对于物料的洁净度要求，提高了工作效率。
主权项：1.一种用于半导体级多晶硅的置换装置，包括固定组件1，所述固定组件1包括：还原炉尾气管道11，其外侧设置有压力变送器12；电动阀门13，设置于所述还原炉尾气管道11的一端；第一连接管14，设置于所述电动阀门13的一侧；吸气阀15，设置于所述第一连接管14的顶部；其特征在于：所述第一连接管14的外侧设置有真空置换组件2，所述真空置换组件2包括：L型分流管22，设置于所述第一连接管14的外侧；罗茨泵21，设置于所述L型分流管22的一端；第一分流管23，设置于所述罗茨泵21的一侧；缓冲罐24，设置于所述第一分流管23的一端，并与所述第一连接管14的一端固定连接；前级水环式真空泵26，设置于所述缓冲罐24的一侧。
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百度查询： 内蒙古大全半导体有限公司 一种用于半导体级多晶硅的置换装置
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