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摘要：为了在多线放电加工中减小从被加工物切出的多个薄板状部件的板厚的波动，具有：1根线电极1，其绕多个引导辊2卷绕多次，由此形成并列设置有多个线切断部的并列线部1a；放电波形控制装置32，其基于放电波形指令对极间的电压波形或极间的电流波形进行控制；线行进控制装置35，其基于线电极行进指令对线电极的行进进行控制；切断台驱动装置34，其基于切断进给台指令对并列线部和被加工物之间的相对位置进行控制；加工状态取得部33，其取得极间的电气特性即切断部电气特性或与线切断部的状态有关的信息即电极状态信息而作为加工状态信息；以及加工控制装置31，其基于加工状态信息而决定线电极行进指令、放电波形指令及切断进给台指令。
主权项：1.一种线放电加工装置，其具有：1根线电极，其一端卷绕于供给侧线轴，另一端卷绕于回收侧线轴，绕多个引导辊在所述引导辊的旋转轴的方向隔开间隔而卷绕多次，由此形成并列设置有多个线切断部的并列线部；放电波形控制装置，其基于放电波形指令，对所述线切断部和被加工物之间即极间的电压波形或所述极间的电流波形进行控制；线行进控制装置，其基于线电极行进指令对所述线电极的行进进行控制；切断台驱动控制装置，其基于切断进给台指令，对使所述并列线部和所述被加工物之间的相对位置变化的切断进给台进行控制；加工状态取得部，其取得对所述线切断部和所述被加工物之间的电气特性进行测量得到的切断部电气特性、或与所述线切断部的状态有关的信息即电极状态信息而作为加工状态信息；以及加工控制装置，其基于所述加工状态信息而决定所述线电极行进指令、所述放电波形指令及所述切断进给台指令，所述切断部电气特性与所述线切断部的极间距离具有相关性，基于对所述并列线部之中的最初被供给所述线电极的所述线切断部即起始线切断部的所述切断部电气特性即起始切断部电气特性，与所述并列线部之中的第二次及其以后被供给所述线电极的所述线切断部即后序线切断部的所述切断部电气特性即后序切断部电气特性进行比较而得到的结果，决定所述线电极行进的方向。
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百度查询： 三菱电机株式会社 线放电加工装置及半导体晶片的制造方法
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