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摘要:本实用新型涉及晶圆检测技术领域,且公开了晶圆镀金凸块3D外观检测设备,包括安装组件,所述安装组件包括操作台,所述操作台顶部左侧的前侧固定连接有显示器,所述操作台顶部的右侧固定连接有驱动电机,所述驱动电机的输出端贯穿至操作台的底部并固定连接有第一皮带轮,所述第一皮带轮的表面套设有皮带本体,本实用新型所达到的有益效果是:通过利用安装组件,可以对晶圆镀金凸块限位安装,同时方便对晶圆镀金凸块的角度进行调节,提高检测效率,并且通过检测组件可以对晶圆镀金凸块表面的损伤、脏污、划痕以及开裂等缺陷进行拍摄,并且通过调节摄像头本体的角度,可以提高摄像头本体的拍摄范围。
主权项:1.晶圆镀金凸块3D外观检测设备,其特征在于:包括,安装组件1,所述安装组件1包括操作台101,所述操作台101顶部左侧的前侧固定连接有显示器102,所述操作台101顶部的右侧固定连接有驱动电机103,所述驱动电机103的输出端贯穿至操作台101的底部并固定连接有第一皮带轮104,所述第一皮带轮104的表面套设有皮带本体105,所述皮带本体105内腔的左侧活动连接有第二皮带轮106,所述第二皮带轮106的顶部固定连接有传动杆107,所述传动杆107的顶部贯穿至操作台101的顶部固定连接有安装板108,所述安装板108内腔的前侧和后侧均开设有滑槽109,所述安装板108内腔的两侧之间固定连接有两个滑杆110,两个滑杆110的表面均活动连接有滑套111,两个滑套111相反的一侧均固定连接有弹簧112,所述弹簧112远离滑套111的一侧与安装板108的内壁固定连接,两个滑套111的顶部均固定连接有限位板113,两个限位板113相反的一侧均固定连接有拉环114;以及检测组件2,所述检测组件2包括定位板201,所述定位板201的底部与操作台101的顶部固定连接,所述定位板201的前侧固定连接有两个定位架202,其中一个定位架202的右侧固定连接有第一电机203,所述第一电机203的输出端贯穿至定位架202的内腔并固定连接有传动轴204,所述传动轴204的左侧与定位架202的内壁活动连接,所述传动轴204的表面套设有圆形齿轮205,所述圆形齿轮205的顶部啮合连接有半齿轮206,所述半齿轮206的顶部固定连接有定位套207,所述定位套207的内腔固定连接有定位杆208,所述定位杆208的两侧均与定位架202的内壁活动连接,所述定位套207的顶部固定连接有摄像头支架209,所述摄像头支架209的内腔与定位杆208的表面固定连接,所述摄像头支架209的顶部固定连接有摄像头本体210。
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