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申请/专利权人：长春理工大学
摘要：相位‑偏振联合调制钛酸钡晶体薄膜波导强度电光调制器涉及光通信技术领域，解决了当前电光调制器所面临的光调制输出信号宽度与带宽之间矛盾的问题。本发明MZI型强度电光调制器，这种调制器的波导和电极是通过两次刻蚀到不同的平面上，可使其电光场作用积分值达到0.7‑0.8。利用二阶平方型电光调制理论模型，借助于偏振‑相位驱动，可使强度电光调制器的干涉输出峰值变窄，调制带宽增强。本发明相位‑偏振联合调制钛酸钡晶体薄膜波导强度电光调制器的静态半波电压可以设计在5V以下，动态电光调制时的等效半波电压可以5V左右，器件的核心性能指标：1电光调制电压与电光作用长度乘积器在0.2‑0.5V·cm，2调制电压具备100GHz量级的潜力。
主权项：1.相位-偏振联合调制钛酸钡晶体薄膜波导强度电光调制器，其特征在于，该强度电光调制器包括：氧化镁晶体基底片、钛酸钡晶体薄膜层、单模输入波导、输入端波导分束器、单模波导臂、输出端波导分束器、单模输出波导、调控电极和驱动电极；所述钛酸钡晶体薄膜层设置在所述氧化镁晶体基底片上表面；在所述钛酸钡晶体薄膜层上的一端依次制备单模输入波导、输入端波导分束器、单模波导臂、输出端波导分束器和单模输出波导；所述单模输入波导与输入端波导分束器形成Y型结构，所述输入端波导分束器的两个分支分别与两个单模波导臂连接，所述两个单模波导臂的另一端分别与所述输出端波导分束器的两个分支连接，所述输出端波导分束器的另一端与所述单模输出波导连接；三个所述调控电极分别设置在两个所述单模波导臂的外侧和两个所述单模波导臂之间；两个所述驱动电极分别设置在一个所述单模波导臂的外侧和两个所述单模波导臂之间；当输入光信号通过单模输入波导进入输入端波导分束器分成两束光后，分别进入两个所述单模波导臂，两束光信号在将经过直流电场由所述调控电极进行偏振态调整和交流微波电场由驱动电极进行高频调制后在输出端波导分束器中进行干涉，使所述两束光偏振态和光相位相结合，获得干涉输出光信号。
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