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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：一种形成方法，使用第1装置和第2装置在基板上的1个层形成图案，针对每个基板进行包括以下工序的处理：标记形成工序，利用所述第1装置在基板上形成标记；第1形成工序，利用所述第1装置在基板上形成第1图案；以及第2形成工序，利用所述第2装置在基板上形成第2图案，作为所述处理的模式，包括：第1模式，进行用所述第1装置测量所述标记的位置的测量工序，根据该测量工序的测量结果，控制所述第2图案的形成；以及第2模式，省略所述测量工序，根据上次的测量工序的测量结果，控制所述第2图案的形成。
主权项：1.一种形成方法，使用第1装置和第2装置在基板上的1个层形成图案，其特征在于，针对每个基板进行包括以下工序的处理：标记形成工序，利用所述第1装置在基板上形成标记；第1形成工序，利用所述第1装置在基板上形成第1图案；以及第2形成工序，利用所述第2装置在基板上形成第2图案，作为所述处理的模式，包括：第1模式，进行利用所述第1装置测量所述标记的位置的测量工序，根据该测量工序的测量结果，控制所述第2图案的形成；以及第2模式，省略所述测量工序，根据过去的测量工序的测量结果，控制所述第2图案的形成，在所述第1模式下的多次的所述处理中的所述测量工序的测量结果的变动收敛于容许范围的情况下，将所述处理的模式从所述第1模式转移到所述第2模式，所述处理还包括利用所述第2装置测量所述标记的位置的第2测量工序，在所述第2形成工序中，根据在所述测量工序中测量的所述标记的位置信息与在所述第2测量工序中测量的所述标记的位置信息之差，控制所述第2图案的形成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 形成方法、形成装置以及物品的制造方法
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