首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

一种基于MEMS芯片的封装结构 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:合肥领航微系统集成有限公司

摘要:本实用新型涉及半导体工艺技术领域,尤其涉及一种基于MEMS芯片的封装结构,包括:内部开设容纳腔的框架,所述框架具有相对的正面及背面,所述框架的背面设置底板,所述框架的正面设置芯板,所述芯板上开设第一发声口作为喉管,所述容纳腔内设置MEMS芯片,且所述MEMS芯片与芯板固定连接,MEMS芯片的背腔朝向芯板,所述MEMS芯片的背腔发射超声波信号,超声波信号穿过喉管向外发出。本实用新型封装尺寸小,可增强回波信号,减小探测盲区,抑制高低温下的盲区变化。本实用新型采用MEMS芯片的背腔发射超声波信号,封装体积小,成本低。

主权项:1.一种基于MEMS芯片的封装结构,其特征在于,包括:内部开设容纳腔的框架,所述框架具有相对的正面及背面,所述框架的背面设置底板1,所述框架的正面设置芯板4,所述芯板4上开设第一发声口作为喉管,所述容纳腔内设置MEMS芯片2,且所述MEMS芯片2与芯板4固定连接,MEMS芯片2的背腔朝向芯板4,所述MEMS芯片2的背腔发射超声波信号,超声波信号穿过喉管向外发出。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 合肥领航微系统集成有限公司 一种基于MEMS芯片的封装结构

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。