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一种基于正弦型垂直PN结的电光移相器 

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申请/专利权人:扬州大学

摘要:本发明公开了一种基于正弦型垂直PN结的电光移相器,所述移相器包括从下至上分布的衬底层、绝缘层和上包层,所述上包层内设有波导,所述波导包括P掺杂区和N掺杂区,所述P掺杂区和N掺杂区的接触界面为正弦型曲面,所述正弦型曲面的纵坐标对应上包层的厚度方向,正弦型曲面的横坐标对应上包层的长度方向。本发明采用接触界面为正弦型的PN结,使光通过时形成传播方向上正弦型的耗尽区,比传统的直线型PN结耗尽区的面积更大,即结电容变大,从而使得波导光学模式与耗尽区的重叠积分增大,最终提高电光移相器的调制效率。

主权项:1.一种基于正弦型垂直PN结的电光移相器,其特征在于,包括从下至上分布的衬底层1、绝缘层2和上包层3,所述上包层3内设有波导4,所述波导4包括P掺杂区7和N掺杂区8,所述P掺杂区7和N掺杂区8的接触界面为正弦型曲面,所述正弦型曲面的纵坐标对应上包层3的厚度方向,正弦型曲面的横坐标对应上包层3的长度方向。

全文数据:

权利要求:

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