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申请/专利权人：西北工业大学

摘要：本发明提供了一种抑制原料挥发并收集挥发物的GaSb晶体生长装置，解决目前GaSb晶体生长过程中存在原料挥发，以及目前抑制原料挥发方式效果有限的技术问题。本发明通过设计石英管覆盖件、挥发物收集组件以及保温组件，共同配合，减少原料挥发，并将少部分已挥发的原料进行积极回收，避免挥发出的原料会沉积到水冷的炉体上，造成污染；同时，也避免封闭石英观察窗造成实验人员无法实时观测晶体生长炉内部情况。

主权项：1.一种抑制原料挥发并收集挥发物的晶体生长装置，其特征在于：包括支撑架、提拉炉体、提拉旋转组件、坩埚旋转组件、保温组件、加热组件、挥发物收集组件、石英保护罩、石英管覆盖件、坩埚以及石墨籽晶杆；所述提拉炉体设置在支撑架上，其底部安装坩埚旋转组件，顶部安装提拉旋转组件；所述坩埚旋转组件用于夹持坩埚并控制其旋转，包括旋转电机和旋转支撑件；旋转电机位于所述支撑架下方空间内，其输出与旋转支撑件的下端连接，且其与支撑架间设置有管状密封组件；旋转支撑件的上端同轴位于提拉炉体内，适配夹持所述坩埚，其上端面高于坩埚上端面；所述挥发物收集组件、加热组件和保温组件由内向外依次套设在旋转支撑件的上端外侧；所述挥发物收集组件包括上组件和下组件；下组件为圆筒形，上组件为装配在下组件上端面的圆环，且圆环的上表面由内向外同轴设置有N个圆环形刮齿，并形成N-1个收集凹槽，N取值3-5；其中，位于最内侧的刮齿与旋转支撑件之间留有间隙，且上端面与旋转支撑件的上端面平齐；其余外围刮齿均高于最内侧的刮齿且等高设置；所述提拉旋转组件包括提拉旋转电机和提拉杆；提拉旋转电机的输出与提拉杆的上端连接，提拉杆的下端安装所述石墨籽晶杆；石墨籽晶杆用于夹持籽晶，与坩埚同轴；提拉杆在提拉旋转电机的驱动下能够带动石墨籽晶杆发生上下移动以及旋转；所述石英管覆盖件安装在提拉旋转电机上，且位于提拉杆和石墨籽晶杆的外侧；石英管覆盖件由M个石英管覆盖子件绕周向拼装而成，形成自上而下连接的石英管和石英圆盘，M取值大于等于2；其中，石英管上部的内径相同，下部的内径则逐渐减少至0mm；石英圆盘的外径则介于旋转支撑件的内径与外径之间；每个石英管覆盖子件包括石英子管和位于石英子管下端并与石英子管具有相同夹角的石英扇盘；石英管覆盖件在提拉旋转电机的驱动下能够发生上下移动以及扩缩操作；所述加热组件用于加热坩埚内的晶体原料，其高度不高于挥发物收集组件的上组件；所述保温组件高于挥发物收集组件的上组件，其侧壁上正对所述其余外围刮齿的壁面处沿周向均匀设置有M个扇形缝隙；所述扇形缝隙的底部与其余外围刮齿的上端面平齐；在提拉旋转电机的驱动下，石英管覆盖件的M个石英扇盘能够适配插入所述M个扇形缝隙中；所述石英保护罩整体由多个子罩沿周向拼装而成，设置在保温组件的顶部，能够将整个石英管覆盖件包裹在内。

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百度查询： 西北工业大学 一种抑制原料挥发并收集挥发物的GaSb晶体生长装置